簡單的說，螺桿式 真空泵其實(shí)與螺桿式空壓機(jī)是很相似的。其運(yùn)作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。

1.吸氣

螺桿式干式真空泵的吸氣開始時，轉(zhuǎn)子的一對齒前端的型線完全嚙合，且即將與吸氣口連接，隨著轉(zhuǎn)子開始轉(zhuǎn)動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴(kuò)大，在其內(nèi)部形成了一定的真空，氣體在壓差作用下流入其中，在隨后的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中，陽轉(zhuǎn)子齒不斷從陰轉(zhuǎn)子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴(kuò)大，并與吸氣孔口保持連通，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，所研究的齒間容積不會再增加，齒間容積在此位置與吸氣孔口斷開，吸氣過程結(jié)束。

2.壓縮

螺桿真空泵壓縮過程即將開始時，此時氣體被轉(zhuǎn)子齒和機(jī)殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由于轉(zhuǎn)于齒的嚙合就要開始減小，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小，導(dǎo)致壓力升高，從而實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮過程，壓縮過程可一直持續(xù)到齒間容積即將與排氣孔口連通之前。

3.排氣

螺桿真空泵開始排氣時，齒間容積與排氣孔口連通，隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，這個過程一直持續(xù)到齒末端的型線完全嚙合。此時，齒間容積內(nèi)的氣體通過排氣孔口被完全排出，封閉的齒間容積的體積變?yōu)榱恪?/span>

由上面的螺桿真空泵的工作原理不難看出，因?yàn)槁輻U式真空泵的轉(zhuǎn)子是經(jīng)過嚴(yán)格的動平衡校正的，螺桿之間也保證了合理的間隙，因此螺桿真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中轉(zhuǎn)子不會產(chǎn)生摩擦，能平衡運(yùn)轉(zhuǎn)，噪音低，且工作腔不需要潤滑油，使得油耗率低，從而具有節(jié)能等特點(diǎn)。從而引申出的無油螺桿真空泵能適用于對環(huán)境、噪音要求較高的生產(chǎn)工藝。